Официальный информационный канал Научно-исследовательского института ядерной физики имени Д.В.Скобельцына
Официальный сайт: http://sinp.msu.ru/
Post #702
493

В рамках разработки оборудования атомно-слоевого травления, плазмохимического травления и химического осаждения из газовой фазы команда НИИТМ выполнила ряд проектов в кооперации с сотрудниками отдела микроэлектроники НИИЯФМГУ имени М. В. Ломоносова.
📆Сотрудничество стартовало в 2022 году.
За это время было проведено несколько совместных работ, способствующих повышению технологичности оборудования НИИТМ и улучшению качества проводимых на них техпроцессов:
✅Исследование процессов атомно-слоевого травления, включающее проведение измерений непосредственно во время выполнения технологических операций;
✅Изучение плотности высокочастотной плазмы низкого давления, энергии ионов и равномерности их распределения в реакторе;
✅Исследования спектров излучения ВЧ-плазмы;
✅Разработка системы окончания процесса травления;
✅Участие в проведении испытаний реакторов травления оборудования НИИТМ.
Подробнее о проекте - у нас на сайте по ссылке.
#НИИЯФ #НИИТМ
📆Сотрудничество стартовало в 2022 году.
За это время было проведено несколько совместных работ, способствующих повышению технологичности оборудования НИИТМ и улучшению качества проводимых на них техпроцессов:
✅Исследование процессов атомно-слоевого травления, включающее проведение измерений непосредственно во время выполнения технологических операций;
✅Изучение плотности высокочастотной плазмы низкого давления, энергии ионов и равномерности их распределения в реакторе;
✅Исследования спектров излучения ВЧ-плазмы;
✅Разработка системы окончания процесса травления;
✅Участие в проведении испытаний реакторов травления оборудования НИИТМ.
Подробнее о проекте - у нас на сайте по ссылке.
#НИИЯФ #НИИТМ
- ❤ 4
- 🔥 2
- 🤩 1


















