В рамках разработки оборудования атомно-слоевого травления, плазмохимического травления и химического осаждения из газовой фазы команда НИИТМ выполнила ряд проектов в кооперации с сотрудниками отдела микроэлектроники НИИЯФМГУ имени М. В. Ломоносова.

📆Сотрудничество стартовало в 2022 году.

За это время было проведено несколько совместных работ, способствующих повышению технологичности оборудования НИИТМ и улучшению качества проводимых на них техпроцессов:     
    
✅Исследование процессов атомно-слоевого травления, включающее проведение измерений непосредственно во время выполнения технологических операций;
✅Изучение плотности высокочастотной плазмы низкого давления, энергии ионов и равномерности их распределения в реакторе;
✅Исследования спектров излучения ВЧ-плазмы;
✅Разработка системы окончания процесса травления;
✅Участие в проведении испытаний реакторов травления оборудования НИИТМ.

Подробнее о проекте - у нас на сайте по ссылке.

#НИИЯФ #НИИТМ