🇷🇺 Производство микроэлектроники. Производственное оборудование. Господдержка. Россия

Минпромторг планирует реализовать в 2026 году более 20 проектов в рамках программы ЭлМаш

Мы уже обсуждали на днях планы продления программы ЭлМаш на период до 2036 года. Это важно с точки зрения понимания стратегии развития отрасли. Сегодня Ведомости добавляют конкретики о более приближенном к нам событиям – в 2026 году регулятор планирует реализовать более 20 проектов программы ЭлМаш.

Конкретно, ожидается завершение НИОКР по таким, например, направлениям как:

🔹установки одностороннего и двухстороннего шлифования и полировки полупроводниковых пластин
🔹установки ионно-лучевого травления и распыления
🔹установки молекулярно-лучевой эпитаксии

Это ключевое оборудование для процесса производства полупроводниковых структур на пластинах. Как нельзя произвести такие структуры без фотолитографа, так нельзя произвести его без перечисленных установок. Всего в производственной линии по выпуску кристаллов используется порядка 100 различных установок, каждая из которых необходима для того, чтобы линия могла выпускать хоть какую-то продукцию. К этому еще нужно добавить необходимость наличия соответствующих материалов и комплектующих.

Сейчас, в основном, производители полупроводниковых структур используют зарубежное оборудование, в основном, закупленное в западных странах (в понятие "западные", кроме стран Европы, в основном Германии и Нидерландов, и США я включаю также Японию и Южную Корею). В последние годы к этому прибавились закупки китайского оборудования.

Достижима ли цель, которую ставит Минпромторг? На мой взгляд, достижима, при условии, что будет обеспечено финансирование в согласованном сторонами объеме. Да, необходимые компании с достаточными компетенциями у нас есть. По крайней мере, пока мы говорим о зрелых техпроцессах. Например, линейкой установок шлифовки и полировки пластин занимается Лассард, а установками МЛЭ - АО НТО (для соединений A3B5) и НИИТМ. Планируется разработать не менее 8 установок для эпитаксии. В Лассард в 2025 году создали установку для выращивания монокристаллов.

В целом рынок электронного машиностроения для производства микроэлектроники очень скромный, если оценивать его по степени проникновения российских установок на производства. И характеризуется хроническим недофинансированием. Для него характерно значительное технологическое отставание от лидеров международного рынка, на годы, а где-то и на десятки лет. А также есть критическая зависимость от материалов и комплектующих.

Из позитива - на него уже несколько лет, как обратили внимание и, во многом благодаря этому, пошли, пока что скромные, но все же подвижки. В ряде направлений сохранилась еще с советских времен научно-инженерная школа.

В текущей версии программы развития ЭлМаш до 2030 года кроме оборудования ставится задача создания материалов и химии, а также САПР «первой необходимости». Под все эти задачи запланировано выделить 123.9 млрд, но что получится на практике? Из-за недофинансирования с отставанием в реализации НИОКР столкнется 60 проектов по итогам 2025 года. Механизм льготных займов, которым планируется заменить субсидии, может помочь, но опять же, если эти займы будут предоставляться в необходимых объемах.

В общем - задачи стоят важные, но непростые в реализации.

@RUSmicro