🇸🇬 Сингапурская компания Nexstrom разрабатывает оборудование для выращивания 2D-полупроводников непосредственно на 300-мм пластинах

Nexstrom создает платформу North Star для выращивания дихалькогенидов переходных металлов (transition metal dichalcogenides, TMD), полупроводниковых материалов толщиной в несколько атомных слоев. Такие материалы рассматриваются как возможная замена кремнию в каналах транзисторов при дальнейшем уменьшении их размеров.

⚙️ Основная задача Nexstrom связана с переносом технологии из лаборатории в серийное производство. Высококачественные TMD уже получают на небольших образцах, однако для применения на фабриках необходимо обеспечить однородное и воспроизводимое выращивание материала по всей площади стандартной 300-мм пластины.

🛠️ North Star представляет собой MOCVD-платформу, специально разработанную для выращивания TMD. В системе используются:

• контролируемая подача газообразных прекурсоров для поддержания стабильных условий осаждения;
• многоканальная газораспределительная система с независимым температурным контролем для повышения однородности роста по площади пластины;
• автоматизированная загрузка и перемещение 300-мм пластин, рассчитанные на интеграцию в существующую инфраструктуру полупроводниковых фабрик.

💿 Компания уже установила систему, рассчитанную на 300-мм пластины, и получила на ней первые образцы материала. При этом масштабирование самого технологического процесса идет поэтапно: Nexstrom перешла от пластин диаметром 50 мм к 150 мм и планирует завершить отработку процесса на 200-мм пластинах к концу октября 2026 года.

Образцы пластин и материалов уже проходят оценку у потенциальных заказчиков, которых компания не раскрывает. Основная работа сейчас сосредоточена на достижении требуемых заказчиками параметров материала, повышении воспроизводимости процесса, развитии метрологии и систем управления процессом.

Разработкой транзисторов на основе 2D-материалов уже занимаются TSMC, Intel и imec. Nexstrom концентрируется на другом звене технологической цепочки: оборудовании и процессах, которые должны обеспечить массовое выращивание таких материалов на пластинах промышленного диаметра. Выход North Star на уровень серийного производства компания ожидает в 2030–2035 годах.

💬 Электронное машиностроение в МАХ

#ЭлМаш #технологии