🇷🇺 Производственное оборудование микроэлектроники. Разработка. Господдержка. Россия

Фотолитографический кластер на 180-130 нм в России надеются разработать к 2030 году

Поскольку инициативно за эту работу в нынешних экономических и геополитических условиях вряд ли бы кто-то взялся на свои средства, она будет проходить в рамках конкурса Минпромторга. Ведомство выделило на эту разработку 2.8 млрд рублей (не так, чтобы щедро, но безусловно лучше, чем ничего). Об этом рассказал CNews.

Несмотря на то, что речь идет о перспективной разработке, ориентирована она, в значительной мере, в прошлое – на пластины диаметром 200 мм. В 2025 году стоило бы ориентироваться на 300 мм.

Трек фотолитографии должен объединять такое оборудование, как блоки нанесения фоторезиста и антиотражающего покрытия, блоки проявления фоторезиста, блок термообработки, модуль загрузки и выгрузки пластин и т.п. И, конечно, фотолитограф. Вероятно, речь идет о литографе с эксимерным лазером 248 нм, который разрабатывает ЗНТЦ.

От исполнителя требуют, чтобы он использовал в конструкции изделия и материалы, не создающие критической зависимости от иностранных производителей. Это усложняет задачу и удорожает конечное изделие.

А еще исполнитель должен будет определить в какую сумму обойдется освоение серийного производства такого кластера. Впрочем, говорить о серийности в таком деле, как фотолитографическая линия применительно к российскому рынку можно лишь с определенным преувеличением. 1-2 установки в год – уже неплохо, если найдут своего покупателя.

Кластерный подход – безусловно правильный. Он обещает снижение уровня привносимой дефектности за счет использования общей системы загрузки-выгрузки, позволяющей последовательно проводить ряд технологических процессов без выгрузки пластин в атмосферную среду. Это также ускоряет работу с пластинами, за счет сокращения транспортных маршрутов.

Фотолитографический трек с литографом – безусловно важная часть будущих российских линий по производству полупроводниковых структур на пластинах. Но это лишь часть линии, пусть и важная. Для того, чтобы создать полностью российское производство микросхем необходимо будет создать еще несколько десятков различных установок. И, судя по доступной в медийном пространстве информации, средств для финансирования их разработки в ранее намеченные сроки на сегодня не хватает.

@RUSmicro