(4) Структуры с полосами:

На фото изображены структуры с полосами поликремния шириной 65 нм

🔸 Аспектное соотношение (ширина к глубине) 1:2

🔸 Получен равномерный слой как на горизонтальных, так и на вертикальных поверхностях структуры (без швов, без пустот).

📎 оглавление подборки информации по ПХО и ПХТ НИИТМ

@RUSmicro, фото - пресс-службы Элемент