(3) Поскольку в ChipChat был интерес к возможностям установок, приведу пару картинок с образцами их использования

Структуры с канавками:

На фото - сформированные на установке НИИТМ (ГК Элемент) структуры с кремниевыми канавками шириной 65 нм.

🔸 Аспектное соотношение 1:4

🔸 Можно наблюдать 100% конформное заполнение канавки, без пустот, без швов.

@RUSmicro, фото - пресс-службы Элемент