(2) Что есть пока что из материалов по оборудованию ПХО и ПХТ разработки ГК Элемент (НИИТМ и НИИМЭ)

Презентации

🔹 Презентация НИИМЭ "Крупнейший в России комплекс по проведению научно-технологических исследований и разработок в области микро- и наноэлектроники".

🔹Презентация Михаила Георгиевича Бирюкова, генерального директора АО НИИТМ, на встрече 10 декабря 2025, посвященной успешного завершения разработки кластеров ПХО и ПХТ для обработки пластин диаметром 300 мм.

Фоторепортаж

Экспериментальный производственный участок ПХТ и ПХО на Микрон. Фоторепортаж. Часть 1

Справочные материалы

Для чего нужны кластерные комплексы ПХО и ПХТ?

Что такое ПХО (плазмохимическое осаждение) и ПХТ (плахмохимическое травление)

Особенности разработанного российского оборудования ПХО и ПХТ. Состав оборудования

Выводы и что дальше

@RUSmicro

Пока что это все, но я еще вернусь к теме по мере обработки материалов