🇺🇸 Оборудование фотолитографии. Источники света. США

Стартап xLight получит $150 млн от правительства США на прорыв в производстве источников света

Правительство США сделало первую крупную инвестицию в полупроводниковую отрасль при администрации Трампа, поддержав стартап. Министерство торговли США подписало предварительное соглашение (LoI) о выделении до $150 млн калифорнийской компании xLight, разрабатывающей «революционный» источник света для литографии. В обмен на финансирование федеральное правительство получит долю в компании, размер которой не раскрывается.

Эти средства должны быть направлены на создание прототипа источника EUV (экстремального ультрафиолета) на основе лазера на свободных электронах (Free Electron Laser, FEL). Технология должна заменить текущий стандарт — лазерно-плазменный источник (LPP), — который, по словам xLight, достиг своих физических пределов и является «узким местом» в производстве.

Компания xLight была основана в 2021 году и привлекает внимание, поскольку исполнительным председателем в нем является благодаря своему исполнительному председателю — бывшему генеральному директору Intel Пэту Гелсингеру. Прототип системы будет построен в технологическом комплексе Albany Nanotech Complex (Нью-Йорк) и должен быть запущен для пробного производства чипов в 2028 году.

Заявленные преимущества технологии xLight FEL.

В 4 раза больше мощности света, чем у текущих источников. В 10 раз большая энергоэффективность. Одна установка может служить источником света для 20 сканеров ASML. Отсутствие расходных материалов (таких как олово в LPP).

Инвестиции в xLight — это попытка США вернуть технологический суверенитет в критически важном звене цепочки производства чипов, которое сейчас полностью зависит от зарубежных поставщиков (ASML). В отличие от предыдущей практики предоставления грантов, новая администрация делает ставку на прямые инвестиции в обмен на долю в компаниях, что видно на примерах с Intel и производителями редкоземельных металлов.

Хотя технология FEL теоретически интересна и основана на разработках национальных лабораторий США, ей еще только предстоит доказать свою коммерческую жизнеспособность. Основной проблемой станет не создание прототипа, а успешная интеграция с существующими производственными линиями, где работают сканеры ASML. И все же ребятам из Cymer стоит начать беспокоиться.

@RUSmicro