🇷🇺 Производственные мощности. Производство фотошаблонов. Планы. Россия

В Алабушево готовятся начать выпускать фотошаблоны, необходимые для производства полупроводниковых структур на пластинах

Мы уже обсуждали в марте 2025 года старт этого проекта, инициированного НИУ МИЭТ. Сокращенное название центра НТЦ ФШ (Научно-технологический центр по изготовлению фотошаблонов). В проекте участвуют также правительство Москвы, Минпромторг, Минобрнауки.

Подробнее на днях рассказал CNews. В частности, планируется:

🎈 в 2026 году - разработка техпроцесса изготовления фотошаблонов под техпроцессы 350 нм и 250 нм.
🎈 в 2027 году – разработка техпроцесса изготовления фотошаблонов под 180 нм и начало выпуска фотошаблонов для 350 нм.
🎈 в 2028 году – разработка под 90 нм и начало выпуска под 250 нм
🎈 в 2029 – разработка под 65 нм, выпуск под 180 нм и под 90 нм
🎈 в 2030 – выпуска под 65 нм, разработка…
«в перспективе» планируется дойти и до 28 нм, но когда – разумно не говорится.

Плановая производственная мощность предприятия уже удвоилась по сравнению с тем, о чем шла речь в марте, теперь говорится о планах выпуска около 10 тыс. фотошблонов в год. Оптимизм растет? Инвестировали больше денег?

Упоминается, что НТЦ ФШ будет работать «в технологической цепочке» с Лассардом (выпускает синтетическое кварцевое стекло) и РФЯЦ ВНИИЭФ (изготавливает подложки из этого стекла).

НТЦ ФШ планирует выпускать фотошаблонные заготовки под фотолитографы с длиной волны 248 нм и 193 нм и фотошаблоны для техпроцессов от 180 нм и ниже.

Покупателями, как ожидается, станут российские фабы, прежде всего, Микрон и НМ-Тех, а также НИИМЭ и другие малосерийные производители.

Ключевой вопрос – откуда взялось оборудование для оснащения НТЦ ФШ?

Судя по всему, закупали «с бору по сосенке», в частности – установка контроля кварцевых подложек – американского производителя, установка контроля толщины слоев – китайская, оптический микроскоп – Германия и т.п. Есть две российские установки – для анализа кристаллографических параметров слоев и атомно-параметрический микроскоп.

Пока что не закуплены установки отмывки, оборудование контроля фотошаблонов, установки для нанесения слоев, установки для сушки, вакуумной упаковки. Все это еще только предстоит интегрировать в единую производственную цепочку, написать и отладить софт, наладить поставку материалов.

В России темой фотошаблонов занимается еще ряд организаций (ЗНТЦ, НИИМВ, МВЦ), есть и собственное производство: ЗИТЦ и ЦКП Фотошаблоны (выпускают маски под техпроцессы до 180 нм).

Необходимо будет решить еще немало проблем. В частности, еще только предстоит проверить качество российских кварцевых пластин (требуется одновременно чистота, ровность и низкая дефектность). Отдельная загадка - кто, например, будет производить пелликлы – это тоже совсем не простая задача?

В целом мне представляется, что с освоением технологий 180-90нм особых проблем быть не должно. Но планы по 65 нм и, тем более, в отношении 28 нм – весьма амбициозны. Это потребует развития ряда фундаментальных технологий, поэтому в отношении 2029-2030 года у меня есть сомнения даже про 65 нм.

Зарубежные станки – «мина замедленного действия», их мало купить, к ним еще нужно будет закупать запчасти, да и без официальной поддержки оборудование может обеспечить немало головной боли. В идеале, нужно разрабатывать отечественные установки под каждую операцию, причем желательно с потенциалом бесшовной интеграции в единую цепочку.

С пелликлами в целом не очень ясно, какие в их отношении планы. Их вообще кто-либо делает в РФ? Я таких не знаю.

Кадры. Нужны, в частности, качественные технологи. Они в дефиците. Могут, конечно, постепенно появиться (выучиться) по ходу дела, не боги горшки обжигают. Но это ОЧЕНЬ сложные технологии – чистота, химия, подбор параметров.

В общем, этот проект будет своего рода лакмусовой бумажкой – можно ли ожидать от российской микроэлектроники существенных позитивных технологически-производственных новостей.

@RUSmicro