🇷🇺 Технологии. Техпроцессы. Россия

В Новгородском ГУ им. Ярослава Мудрого разработали заслонку, которая позволяет более равномерно наносить на подложку тонкие слои материала

Заслонка с отверстиями предназначается для установки УВН 71-П3. Эта установка применяется в микроэлектронике для вакуумного напыления тонкоплёночных покрытий (из алюминия, вольфрама, титана и других материалов), например, для формирования проводящих дорожек, контактов и межсоединений.

Поддерживает методы резистивного испарения (устаревшие версии) и напыления (в обновленной магнетронной версии), позволяя работать с реактивными газами (азот, кислород) для получения сложных соединений (нитриды, оксиды).

Заслонка перекрывает поток распыляемого материала на этапах прогрева мишени, очистки ее поверхности от окислов и загрязнений. Без этого этапа покрытие на мишени получится неоднородным, либо адгезия будет недостаточной.

Заслонка позволяет начать (или прекратить) напыление тогда, когда это необходимо, например, после активации плазмы и стабилизации параметров. Кроме того, заслонка минимизирует попадание на подложку примесей во время инициализации газового разряда.

В базовой версии управление заслонкой было механическим или электромеханическим, в модернизированных установках за это отвечает контроллер. В НовГУ предлагают использовать заслонку с отверстиями, утверждая, что это делает покрытие более равномерным, позволяет лучше контролировать толщину и распределение слоев, добиваясь снижения количества брака.

❓ Мне кажется странным то, что на разработку заслонки с отверстиями (полезными или нет - не берусь судить) списали 15 млн - это, конечно, странно. Может быть что-то с цифрами напутали в источнике.

Несмотря на то, что эти установки древние (60-х годов прошлого века), их продолжают использовать, придумывая все новые варианты модернизации.

🎓 Основными элементами установки вакуумного напыления, упрощенная схема которой представлена на рисунке, являются:

1 - вакуумный колпак из нержавеющей стали;
2 - заслонка;
3 - трубопровод для водяного нагрева или охлаждения колпака;
4 - игольчатый натекатель для подачи атмосферного воздуха в камеру;
5 - нагреватель подложки;
6 - подложкодержатель с подложкой, на которой может быть размещен трафарет;
7 - герметизирующая прокладка из вакуумной резины;
8 - магнетрон с размещённой на нём мишенью из распыляемого материала.

@RUSmicro, фото - anfitamin.livejournal (по ссылке можно еще много картинок найти, подробнее почитать об этом экспонате)