По его словам, за последние четыре года российские компании существенно нарастили производство химической продукции для микроэлектроники. Это позволило стране снизить зависимость от импортной продукции:
Были закрыты целые узкие ниши по разработке новых материалов для микроэлектроники. Ещё четыре года назад у нас в основном вся химия была привозная, по-моему, [российской] было 15%, около того. Сегодня <…> большую часть химии мы закрываем российскими разработками.
Точных данных о степени локализации производства указанной химпродукции в России Фурсенко не привёл.
Тем не менее за последние 3–4 года реально удалось заместить десятки позиций — от фоторезистов и сверхчистых кислот до спецгазов и суспензий для полировки. Коротко о наиболее значимых компаниях и проектах:
🔴 АО «НИИМЭ» — предприятие выполняет 2 госконтракта («Фотолиз» и «Резист-1»). В 2025 году оно разработало, протестировало и апробировало первый полностью российский фоторезист для техпроцесса 90 нм;
🔴 ООО «Поликетон» — разрабатывает фоторезисты и антиотражающие покрытия для DUV-литографии;
🔴 АО «НИОПИК» — единственный в стране крупный серийный производитель фоторезистов, который поставляет продукцию более чем на 130 предприятий;
🔴 ИПХФ РАН — синтезирует полимерные основы для фоторезистов в кооперации с «НИИМЭ», «НИОПИК» и «Поликетоном»;
🔴 Холдинг «Химмед» — готовит запуск производства особо чистых кислот и реактивов для микроэлектроники в Подольске. На предприятии планируют получать гидроксид аммония, фтористый аммоний, соляную, фосфорную, азотную, плавиковую, серную и щавелевую кислоты высокой степени чистоты;
🔴 ООО «Силтрон» — производит сверхчистые газы и реагенты (тетрахлорид кремния, трихлорсилан, моносилан, дихлорсилан, тетрафторид кремния, хлористый водород, аммиак, фосфин, высокочистые кислоты, технологические и калибровочные газовые смеси для травления, осаждения, очистки и литографии);
🔴 АО «Эпиэл» — совместно с «Силтроном» запускает первое в России производство особо чистого хлороводорода.
🔴 АО «Микрон» (ГК «Элемент») — на конец 2023 года предприятие заместило отечественными аналогами 26 материалов для микроэлектроники;
🔴 АО «НИИ НПО «ЛУЧ» и АО «Гиредмет» (входят в «Росатом») — по заказу Минпромторга разработали собственную технологию производства высокочистого красного фосфора (99,9999%) и оксихлорида фосфора. Решение готово к серийному производству.
Помимо этого российские компании также наладили выпуск особо чистых тетракис(диметиламино)титана и бромистого водорода, гексафторида вольфрама, полиэфирэфиркетона, тартрата натрия, трибромида бора и других веществ.
▶️ На разработку материалов для микроэлектроники с 2026 по 2028 год планируют направить 4,68 млрд руб. Совокупно к 2028 году в этой области должны создать 98 новых материалов.
Также недавно производство химикатов для микроэлектроники предложили увязать с балльной системой локализации продукции.
🧪 Химпром в Telegram | в MAX