Росатом наладил выпуск особо чистого гексафторида вольфрама.

👨🏻‍🔬 Специалисты АО «НИИ НПО «ЛУЧ», входящего в научный дивизион «Росатома», создали полную цепочку оборудования, необходимого для производства особо чистого гексафторида вольфрама с его содержанием не менее 99,999 массового процента. В настоящее время ведутся работы по проектированию и строительству первого в России производственного участка для этого продукта.

Директор НПО «ЛУЧ» Павел Карболин отметил, что на данный момент компанией изготовлены лабораторная и опытная установки сорбционной очистки гексафторида вольфрама, а также опытная установка ректификационной очистки. Помимо этого уже завершены разработка и аттестация методик измерений газовых и металлических примесей в получаемом продукте.

Отметим, что гексафторид вольфрама широко используют в микроэлектронике для нанесения тонких металлических слоёв, отличающихся низким сопротивлением, высокой химической и термостабильностью, что служит защитой для плат и схем. Также его применяют в газофазной металлургии для создания термостойких покрытий.

🧪 Химпром