В Томске наладили выпуск химкомпонентов для российской микроэлектроники.

🦾 На площадке Инжинирингового химико-технологического центра (ИХТЦ) Томского государственного университета (ТГУ) запустили производство отечественного особо чистого бромистого водорода и тетракис(диметиламино)титана. Эти соединения широко используются предприятиями, занимающимися выпуском компонентов для микроэлектроники.

В частности, бромистый водород применяют для очистки поверхности кремниевых пластин, которые служат основой для интегральных микросхем. До введения санкций этот продукт импортировался в Россию из других стран, а теперь его получают по отечественной технологии при использовании только российских реагентов.

Другое соединение, тетракис(диметиламино)титан (TDMAT), используют для химического осаждения плёнок нитрида титана из газовой фазы при создании сложных электронных устройств. Также продукт применяют при выпуске полупроводников, изотопов, оптики, конструкционных покрытий и композиционных материалов.

Оба продукта малотоннажной химии уже прошли промышленные испытания и были направлены российским производителям микроэлектроники.

🔎 Напомним, на этой неделе Химпром писал о ещё одном малотоннажном реагенте, пероксидном инициаторе полимеризации, который был впервые разработан в России учёными московского научного института компании «Роснефть».