ЭСТО поставило в НИУ МИЭТ отечественную установку ПХТ
АО НПП «ЭСТО» завершило поставку и успешно провело пуско-наладочные работы комплекса плазмохимического травления в Национальный исследовательский университет МИЭТ. Установка поставлена для ПИШ МИЭТ «Средства проектирования и производства электронной компонентной базы». Об этом сообщает сайт компании.
Плазмохимический комплекс будет использоваться для выполнения образовательных и научно-исследовательских задач, а также для отработки новых технологий в рамках разработки и изготовления перспективных изделий микроэлектроники и фотоники.
В состав поставки вошла не только установка травления, но и отечественный робот-перегрузчик, предназначенный для автоматической загрузки и выгрузки кремниевых пластин диаметром до 200 мм. Это решение исключает ручное вмешательство на критических этапах, повышает воспроизводимость процессов и соответствует требованиям современных технологических линий.
«Оснащение научно-исследовательских лабораторий современным производственным оборудованием позволяет не только упростить отработку новых технологии, но и провести проверку совместимости технологических процессов, нового оборудования и материалов. В настоящий момент сотрудниками лаборатории в кооперации с технологами АО «НПП ЭСТО» и НПК «Технологический центр» запущены совместные работы по отработке режимов селективного травления различных функциональных материалов, применяемых в устройствах интегральной фотоники», - сообщил Лазаренко Петр Иванович, зам. директора Института ПМТ и начальник лаборатории «Материалы и устройства активной фотоники» МИЭТ.
Комплекс полностью разработан и произведён в России и является важным элементом обеспечения технологического суверенитета в электронной промышленности. Его поставка в МИЭТ — не только реализация задачи импортозамещения, но и подтверждение готовности отечественного оборудования к решению сложных задач в области передовой микроэлектроники и фотоники.
@RUSmicro, фото - НПП ЭСТО
В декабре 2025 года сообщалось о завершении разработки Оборудования ПХО и ПХТ разработки компаниями ГК Элемент (НИИМЭ И НИИТМ)