🇷🇺 Участники рынка. Производство полупроводников. Россия

В канале НИИчаво, его автор рассказывает о состоянии производственного оборудования такого крупного по российским меркам передовика полупроводникового производства как Кремний Эл, Брянск.

Если одним предложением, то предприятие все еще оснащено в основном импортным оборудованием, причем важная его часть - прошлого века. К сожалению, эта картина характерна далеко не только для брянских производственников. Годы идут, а положение все еще не поменялось кардинальным образом.

Вкратце - что обнаружил бы на брянском предприятии читатель, если бы там сейчас оказался:

🔸 Фотолитография: Установка Canon 1997 года выпуска. Она все еще работает (золотые все же руки у наших техников!), но ее технические нормы (когда-то 350 нм, а теперь - 500 нм) годятся далеко не для всякой современной задачи. Вдобавок она работает с пластинами 100 мм.

🔸 Нанесение и проявление фоторезиста - завод использует японское и корейское оборудование, закупленное еще до санкций. (Отечественные установки для нанесения и проявления фоторезиста есть, например, у НИИПМ, под пластины 51, 76, 100 и 150 мм, идет разработка и под большие диаметры).

🔸 Установка контроля критических размеров (CD-SEM): американская установка 1999 года выпуска.

🔸 Ионная имплантация: 2 китайские установки.

🔸 Утонение и шлифовка пластин: японские и корейские установки, российские решения предприятие искало, но не нашло. А они вообще существуют на сегодня?

🔸 Приборы измерения: даже для контроля параметров пластин завод вынужден был приобретать китайское оборудование или оборудование из санкционных списков (профилометр, эллипсометр, установка замера удельных сопротивлений).

На предприятии мечтают о переходе на пластины 150 мм. Может это и не трендово, но для предприятия даже такой шаг станет шагом вперед, возможностью снизить себестоимость изделий. Кроме кристального здесь планируют развернуть и сборочное производство (корпусирование), причем на контрактной основе. Запланирован и переход на 350 нм, благо российский фотолитограф от ЗНТЦ-Планар уже можно заказать.

Если повезет, то в 2027 году в России будет готов ОКР кластера нанесения и проявки фоторезиста и ОКР линейки установок шлифовки и полировки пластин, а в 2028 году должны завершиться ОКР Эллипс (пресловутый эллипсометр), но опять же - под 150-300 мм, и ОКР Имплантер (это про МЛЭ). Так что отечественное оборудование под зрелые техпроцессы для российских предприятий, наверное, в ближайшие годы все же появится, но переход на работу с пластинами 150 мм (и больше!) необходим, что называется "по-любому".

UPD: По ссылке есть и продолжение про Кремний Эл.

@RUSmicro