🇷🇺 Приборы. Разработки. Россия

В Нанотронике ведут разработку растрового электронного микроскопа, который пригодится и в микроэлектронном производстве

Сейчас Россия покупает РЭМ за рубежом, что позволяет говорить о зависимости от импорта. В Нанотронике (ГК Элемент) разработали действующий макет и ведут его тесты с планами готовности коммерчески доступных образцов в 2026-2027 году, - рассказал CNews.

Интересно, что разработка идет на средства Элемента, причем разработчики ставят перед собой цель добиться того, чтобы цена изделия оказалась на уровне популярных аналогов из Китая – это, как ожидают в компании, позволит заняться импортзмещением зарубежных РЭМ российской разработкой. Среди потенциальных покупателей – университеты, отраслевые ИИ и производства полупроводников. В Нанотронике нацеливаются и на зарубежные рынки.

Макет включает систему загрузки и выгрузки пластин, вакуумный стол для перемещений и позиционирования пластины. В разработку входят и АСУ для управления составными частями и обработки данных. Установка позволит использовать различные типы катодов – на вольфраме и гексабориде лантана, что должно снизить стоимость ее эксплуатации потребителями.

@RUSmicro