⚡ «Активная Фотоника» и «ПЛАНАР» объединяют технологии для высокоточных измерений на пластинах

30 сентября на форуме «Микроэлектроника-2026» мы подписали соглашение о сотрудничестве с компанией «ПЛАНАР» (Челябинск). Вместе планируем создать автоматическую систему для определения электрических параметров полупроводниковых компонентов на кремниевой пластине.

🔺 Новый прибор сможет исследовать кристаллы до того, как они будут разрезаны и упакованы в корпуса. Это поможет решать критически важные задачи на этапах разработки и серийного производства микросхем, особенно в области радиочастотной, микроволновой и сверхвысокочастотной электроники.

🔺 Для создания высокоточного аппаратно-программного комплекса задействуют полуавтоматические зондовые станции, которые разрабатывает и производит «Активная Фотоника», и векторные анализаторы цепей, выпускаемые «ПЛАНАРОМ».

🔺 Зондовая станция сможет без вмешательства оператора перемещать пластины от чипа к чипу и автоматически подводить к ним микрозонд. Это в сотни раз сократит процесс тестирования пластины по сравнению с ручными измерениями. При этом векторные анализаторы цепей помогут микрозонду на наноуровне измерять емкостные свойства материала с точностью до цептофарад. Это даст возможность точно определять профили легирующих примесей, картировать плотность состояний, изучать локальный ферромагнитный резонанс, пьезоэлектрические и сегнетоэлектрические свойства. При этом контакт зонда с материалом не требуется, а значит, нет риска повредить или разрушить полупроводниковую структуру.

Такой подход позволит проводить электрическое тестирование компонентов непосредственно после технологических процессов формирования электронных структур.

🤝 Мы рассчитываем, что объединение компетенций «Активной Фотоники» и «ПЛАНАРА» позволит создать отечественное решение для высокоточного контроля полупроводниковых структур и внесёт вклад в развитие современной микроэлектроники.