Наш лазер для фотолитографа

На московском предприятии ГК «Лассард» произведены первые опытные образцы эксимерного лазера — ключевого компонента литографических установок, используемых при изготовлении микроэлектроники с нормами проектирования от 65 нм и меньше

https://stimul.online/articles/innovatsii/nash-lazer-dlya-fotolitografa/

🤩 в МАХ 💬| ВК 💙