XP8 Vertos использует разработанную ASM технологию Flowable Carbon. По заявлению компании, это первая представленная на рынке углеродная пленка такого типа, наносимая методом плазмохимического осаждения из газовой фазы (PECVD).
Главная особенность технологии заключается в объединении двух операций в одном процессе. Углеродный материал заполняет структуры с высоким аспектным отношением без образования пустот и швов и одновременно выравнивает поверхность пластины. В результате после осаждения формируется ровная поверхность, готовая к следующему этапу формирования топологии.
🆕 При традиционном подходе заполнение сложного рельефа и последующая планаризация выполняются в несколько этапов. XP8 Vertos позволяет исключить последующую химико-механическую полировку или обратное травление, сократить число технологических операций, стоимость обработки и риск возникновения дефектов.
📈 ASM также заявляет улучшенную планаризацию на пластинах с различной плотностью топологии, повышенную термическую стабильность пленки и возможность селективного осаждения на отдельных участках поверхности. Технология поддерживает как полное, так и частичное заполнение структур с контролем высоты углеродного слоя.
По данным компании, технология уже находится на начальном этапе применения в крупносерийном производстве.
💬 Электронное машиностроение в МАХ
#ЭлМаш #технологии