А вы когда-нибудь запускали турбо-молекулярный насос на атмосфере и без откачки форвакуумным насосом? А установка у меня сумела. Благо разогнаться не успел турбик. Вчера установка работала нормально и качала, сегодня прихожу, включаю установку, турбина запустилась, а форнасос нет. Думаю, что же камера не качается? Оказалось, как обычно, сопля в питании.
Одного не пойму, как можно было сделать такую установку, без интерлока на отсутствие предварительной откачки ТМН? Притом что форнасос и ТМН включаются по одной, сука, кнопке. Или это сделано специально, чтобы сервис инженеры не голодали? 😁
Ломай турбину, мы ж миллионеры!