ASM представила XP8 Vertos Flowable Carbon: текучая углеродная плёнка, которая упростит производство полупроводников

Нидерландская компания ASM представила XP8 Vertos Flowable Carbon — первую на рынке текучую углеродную плёнку для плазменно-усиленного химического осаждения из газовой фазы. Инновация объединяет в одном процессе заполнение зазоров и планаризацию, что позволяет снизить сложность, повысить контроль и расширить возможности для 3D-масштабирования.

В MAX выходит раньше, подписывайтесь!