🇷🇺 Проекционные фотолитографы. Степперы. 350нм. Россия

Первый серийный фотолитограф ЗНТЦ 350 нм будет использовать компания «Маппер»

Отгрузка в Маппер (производитель МЭМС на 100 мм пластинах) запланирована на декабрь 2026 года. С 2022 года «Маппер» принадлежит АО ОКБ «Астрон» (Швабе – Ростех).

Стоимость аппарата в базовой комплектации - 392 млн; с 5-летним сервисным обслуживанием и гарантией – 561 млн, сообщает CNews. Покупателем второго фотолитографа выступит компания «Отраслевые решения» (ГК Элемент).

Проекционный аппарат с рабочим полем 22х22 и лазерным источником света способен обрабатывать пластины диаметром до 200 мм. Производительность установки – до 63 пластин диаметром 150 мм или 43 пластины диаметром 200 мм в час. Срок изготовления и поставки – 1.5 года с момента оплаты аванса в размере 50%.

Поставки проекционного фотолитографа под техпроцессы 130 нм компания ЗНТЦ планирует с 2027 года. ||

✓ Подпишитесь на RUSmicro в Telegram | в Max