🇷🇺 Производственное оборудование. Молекулярно-лучевая эпитаксия. Участники рынка. Господдержка. Россия

Компания НТО (SemiTEq) заключила контракт на 1.5 млрд с Минпромторгом на разработку установки МЛЭ

Об этом рассказал CNews. Установка предназначается для формирования гетероструктур на базе InAlGaAs (арсенид индия - алюминия - галлия) на пластинах 76 и 100 мм. Будущий продукт должен будет помочь заменить продукцию французской компании Riber 49 и американской Veeco GEN200. Срок исполнения - до 31 октября 2030 года.

Российская компания должна разработать конструкторскую документацию (с литерой О1) и создать опытный образец установки с групповой загрузкой подложек. Установка должна быть в состоянии одновременно обрабатывать не менее 5 подложек диаметром 76 мм или трех диаметром 100 мм.

Критические компоненты установки (вакуумные камеры и насосы, молекулярные источники, запорно-вакуумная арматура, центральный контроллер системы управления, программное обеспечение) должны иметь подтвержденное российское происхождение. Как и в аналогичных случаях можно будет применить и иностранные, но лишь при наличии обоснований и письменного согласования Минпромторга.

Для НТО это будет не первый опыт разработки производственного оборудования МЛЭ.

Полупроводники InAlGaAs - одно из наиболее перспективных, современных направлений, отрадно, что есть движение в эту сторону.

✓ Подпишитесь на RUSmicro в Telegram | в Max