На стенде представлены отечественные решения для ключевых этапов производства микроэлектроники: технологическое оборудование, особо чистую химию, материалы и контрольно-измерительные системы. Россия входит в узкий круг государств, располагающих собственными технологиями создания оборудования для производства микроэлектроники. Отечественные компетенции охватывают литографию для топологических норм до 130 нм, оборудование кристального цикла, технологии выращивания структур А3В5, полупроводниковых монокристаллов.
Свои решения на общеотраслевом стенде представляют АО «ЗНТЦ», АО «НТО», АО НИИТМ, ООО «САВТЭК», ООО «Активная фотоника», АО «НИИМЭ» и ООО «ЛАССАРД», ООО «Финпроматом» и другие.
⚙️ Экспозиция охватывает широкий спектр оборудования и материалов для производства ЭКБ, включая:
▪︎ литографы и эксимерные лазеры для литографии с проектными нормами до 130 нм;
▪︎ кластерные установки плазмохимического травления и осаждения для пластин диаметром до 300 мм, рассчитанные на технологические процессы вплоть до 65 нм;
▪︎ установки различных видов эпитаксии для формирования структур на основе полупроводниковых соединений группы А3В5;
▪︎ оборудование для выращивания монокристаллов арсенида галлия и германия диаметром 100 и 150 мм;
▪︎ контрольно-измерительное оборудование;
▪︎ особо чистая химия и материалы для производства ЭКБ.
📈 Развитие этих направлений продолжается. Следующие задачи отрасли связаны с переходом к меньшим топологическим нормам, дальнейшим расширением технологических возможностей отечественного оборудования и поиском новых решений, необходимых для укрепления технологического суверенитета.
📍 Многие новые технологии и перспективные разработки российской отрасли электронного машиностроения будут представлены уже в следующем году. Поэтому ждём вас на российском общеотраслевом стенде с 31 августа по 2 сентября 2026 года и на следующих профильных мероприятиях.
💬 Электронное машиностроение в МАХ
#ЭлМаш #технологии