🇷🇺 Производственное оборудование. Оборудование для производства микросхем. Электростатические столы. Россия

ЭСТО испытала вакуумный столик SPTS 150 мм для удержания кремниевых пластин

Электростатические столы (столы с электростатическим удержанием) применяются в вакуумных установках, задействованных в процессе производства микросхем. Их основное назначение - бесконтактное, за счет статического электричества, удержание пластины с полупроводниковыми структурами. При таком способе удержания пластина не царапается, не скалывается и не загрязняется в процессе обработки. Кроме того, она дополнительно охлаждается с обратной стороны гелием, такое охлаждение необходимо, например, при удалении фоторезиста.

Такие столики российские производители микросхем закупали за рубежом. Теперь у них появляется выбор - АО НПП ЭСТО готово производить свою разработку серийно, что должно снизить зависимость от импорта. В разработке принимало участие также ООО "ЭСТИКА".

Модель SPTS 150 мм испытали как на стенде производителя, а затем у заказчика в составе установки SPTS VPX ICP на операции удаления фоторезиста.

Ключевым компонентом конструкции является электростатический электрод из вакуумплотной керамики ВК-94. Основные элементы изготовлены в России из отечественных материалов.

Проект реализован при содействии Московского фонда поддержки промышленности и предпринимательства (МФППиП). Фонд, в частности, помог компенсировать проценты по инвестиционному кредиту.

В ЭСТО работает сильная инженерная команда - более 120 специалистов, включая конструкторов, технологов, специалистов в области электроники и программистов. Компания занимается не только разработкой и выпуском оборудования, но и его обслуживанием.

Первое изделие уже задействовали в составе импортного оборудование, компания активно занимается сбором портфеля заказов. ||

((фото - компании ЭСТО))

✓ Подпишитесь на RUSmicro в Telegram | в Max