🇷🇺 Измерительное оборудование. Электронные микроскопы. Россия

В ЗНТЦ займутся разработкой опытного образца сканирующего электронного микроскопа для контроля чипов

Об этом сообщает CNews. Оборудование типа CD-SEM должно позволять контролировать и измерять размеры элементов, сформированных на поверхности подложек - пластин диаметром 100, 150 и 200 мм.

Российская разработка, как ожидается, сможет заменить японские установки Hitachi CD-SEM S-9380 и CG4000.

Как и в других подобных случаях, критические узлы должны быть отечественными (электронная пушка, электронно-оптическая колонна, рабочая камера, вакуумные насосы, механизм загрузки-выгрузки пластин, центральный контроллер и программное обеспечение).

Сумма контракта - 2,37 млрд. Срок исполнения - до 30 июня 2030 года.

✓ Подпишитесь на RUSmicro в Telegram | в Max