🇷🇺 Производство полупроводников. Производственное оборудование. Установки жидкостного химического травления. Контракты. Россия

РФЯЦ-ВНИИЭФ разрабатывает автоматизированную установку жидкостного химического травления полупроводниковых пластин диаметром до 200 мм

Информацией поделился CNews. Исполнителем выступает ФГУП «РФЯЦ-ВНИИЭФ», Саров, Ростатом. Сумма контракта – 1,43 млрд. Работа из четырех этапов должна быть завершена до 30 ноября 2029 года.

Установка ЖХТ позволяет проводить химическое травление, очистку, промывку и сушку. Оборудование работает с химическими реагентами (HF, H₂SO₄, H₂O₂, HCl, NH₄OH) при температуре до 160°C. Оно способно обрабатывать за цикл до 100 пластин, обеспечивать их автоматическую загрузку и выгрузку с использованием SMIF-загрузчика. Равномерность травления по пластине – не более 5%. (Функциональными аналогами являются: Shellback Torrent / Siconnex BATCHSPRAY, Shellback MERCURY™+, а также японская Tokyo Electron ZETA™+ 200).

Критические компоненты установки: герметичная процессная камера, ротор, кассетный модуль, узлы спрей-системы подачи реагентов, системы подачи химии, вентиляции и газоочистки, центральный контроллер и программное обеспечение – все это должно быть отечественным (впрочем, по согласования с заказчиком допускается и применение импортных комплектующих).

Совсем недавно, в июле 2026 года РФЯЦ-ВНИИЭФ получил еще один заказа от Минпромторга – на разработку установок бондинга и дебондинга полупроводниковых пластин. В рамках проекта будут созданы два типа установок: для временного соединения полупроводниковых пластин с пластиной-носителем (бондинг), а также для дебондинга и очистки кремниевых пластин. Сумма контракта – 992,85 млн руб.

Интересно… Помнится в 2026 году мы ожидали линейку установок жидкостно-химической обработки полупроводниковых пластин (ЖХО) от ЭСТО и НИИС Седакова, в 2025 году был готов опытный образец транспортно-перегрузочного модуля (ТПМ), их вроде бы производят теперь серийно. Но где же линейка установок ЖХО этих производителей?

✓ Подпишитесь на RUSmicro в Telegram | в Max