🇧🇾 🇷🇺 Производственное оборудование. Оборудование для производства фотошаблонов. Беларусь. Россия

Белорусский Планар разрабатывает для российского рынка 9 установок участка создания фотошаблонов

Об этом сообщил CNews со ссылкой на данные презентации Минпромторга. В частности, упомянуто, что разрабатываются следующие установки:

1. Генератор изображений на фотошаблонах для техпроцессов 90-65 нм (создаёт рисунок на фотошаблонах для производства микросхем)

2. Установка контроля топологии фотошаблонов для норм 90-65 нм (проверяет точность и соответствие рисунка на фотошаблонах заданным параметрам)

3. Установка переноса меток совмещения на обратную сторону пластины (наносит специальные метки на обратную сторону пластины для точного позиционирования при производстве)

4. Установка контроля координат топологических элементов (измеряет и проверяет расположение элементов на фотошаблоне)

5. Установка лазерного устранения дефектов (исправляет мелкие дефекты на фотошаблонах с помощью лазера)

6. Установка контроля привносимой дефектности (проверяет, не добавляет ли процесс производства новых дефектов на фотошаблонах)

7. Установка контроля полутоновых маскирующих покрытий (анализирует качество и равномерность специальных покрытий на фотошаблонах)

Хотя в публикации говорится о 9 установках, перечислено почему-то только 7 типов. А на сайте белорусской компании и вовсе приведены данные о 6 типах продуктов.

Можем предположить, что еще две установки, это:

• Установка измерения критических размеров (определяет с заданной точностью ширину ключевых линий в топологии фотошаблона)

• Установка контроля совмещаемости (проверяет точность согласования всех шаблонов в комплекте по масштабу и позиционированию) ?

Поправьте меня, если я ошибся, но именно такой комплект выглядит для меня как полный.

Российская сторона выступает заказчиком и интегратором и финансирует разработки.

((изображения – с сайта Планар))

✓ RUSmicro в Telegram l на MForum | Max