🇷🇺 Производство фотошаблонов. Инвестиции. Господдержка. Россия

В Зеленограде вскоре заработает производство фотошаблонов - НТЦ ФШ

НТЦ ФШ (Научно-технический центр фотошаблонов) планируется создать на базе НИУ МИЭТ. Ввод производства в эксплуатацию ожидается еще до конца 2026 года. Проектная мощность центра - не менее 5.5 тысяч фотошаблонов в год с перспективой наращивания до 10 тысяч в год. Об этом рассказывает CNews.

К выпуску намечены бинарные и сложные бинарные (с элементами коррекции оптической близости) и фазосдвигающие фотошаблоны: 350 и 250 нм в 2026-2027 году. В 2028-2029 планируется освоить 180-90 нм; к 2030 году - 65 нм; в перспективе - 28 нм.

Предприятие оснастят 73 единицами производственного оборудования: 49 зарубежных установок и 24 - российские, включая, например, многолучевой лазерный генератор изображения DUV (250нм), установка контроля топологии и поиска дефектов на фотошаблонах с хромовым маскирующим покрытием.

Совокупный бюджет проекта оценивается не менее, чем в 31.7 млрд.

✓ RUSmicro в Telegram l на MForum | в ВК