🇷🇺 Микроэлектроника. Материалы. Высокочистые вещества. Импортзамещение. Россия

Росатом создал импортзамещающее производство высокочистых веществ: красного фосфора и оксихлорида фосфора

Важная и приятная, хотя и не совсем новость для производителей микроэлектроники, которые применяют оба этих вещества в техпроцессах формирования полупроводниковых структур. В частности, красный фосфор используют в процессе ионной имплантации, как легирующую присадку, он задает электрические свойства кремния. Оксихлорид фосфора применяют в микроэлектронике как легирующий агент в диффузионных процессах, а также как основу для синтеза нескольких других фосфорсодержащих соединений, используемых в производстве солнечных панелей и оптического волокна.

К моменту запуска производства этих веществ на площадке НИИ НПО Луч в Подольске в 2025 году, российские предприятия импортировали более 80% от потребляемых объемов этих веществ. Поставщиком выступали китайские производители и даже некоторые европейские.

Подготовкой производства, разработкой промышленной технологии, занимался Гиредмет (как и НИИ НПО Луч, это предприятие входит в научный дивизион Росатома). Технический красный фосфор выступает как сырье, его превращают в трихлорид фосфора, а далее следует многоступенчатая очистка. Из очищенного трихлорида выделяют высокочистый красный фосфор (99,9999% - шесть «девяток»), а также оксихлорид фосфора и триметилфосфат. Техпроцесс практически полностью автоматизирован.

Качество продукции уже подтверждено тестами, Росатом планирует получить сертификат СТ-1 и подать заявку на включение веществ в реестр отечественной продукции.

((по материалам «Атом медиа»))

✓ RUSmicro в Telegram l на MForum | в ВК