🇷🇺 Микроэлектроника. Отечественное производственное оборудование. Разработки. Фотолитография. Россия

В России работают над проектом рентгеновского фотолитографа

Речь идет о так называемом проекте «Филлит», поддержку которому оказывает Фонд перспективных исследований (ФПИ). Заявленная цель - создание демонстратора технологии рентгеновского проекционного литографа.

Исполнителем по проекту выступает Институт физики микроструктур Российской академии наук (ИФМ РАН), Нижний Новгород, филиал Федерального государственного бюджетного научного учреждения «Федеральный исследовательский центр Институт прикладной физики им. А. В. Гапонова-Грехова Российской академии наук».

Заявленные цели проекта - проверка и подтверждение ключевых технических решений; достижение проектных норм производства СБИС на уровне EUV-литографов ASML; обеспечение сравнимой производительности с оборудованием мирового лидера в этой области.

Пока что речь, скорее, об этапе НИР, чем об ОКР.

Учитывая то, что купить EUV литограф у ASML для ряда стран практически невозможно, собственный аналог открыл бы для России ряд новых возможностей, как по использованию такого оборудования на собственных производствах, так и в части экспортного потенциала.

Судя по доступным сообщениям, проект пока что находится, что называется, на ранней стадии. При этом у ИФМ РАН есть компетенции в области создания метрологических и технологических установок для многослойной рентгеновской оптики, есть действующий прототип источника излучения, а также макеты ключевых узлов.

✓ подписаться на канал,
✓ наши новости можно читать также на MForum и в ВК