🇷🇺 Химия для микроэлектроники. Бромид водорода. Россия

В Томске начнут производить бромистый водород

Инжиниринговый химико-технологический центр (ИХТЦ) совместно с Томским государственным университетом (ТГУ) завершил разработку и создание установки для производства высокочистого бромида водорода (HBr) чистотой 5N (99,999%). Это первый в России проект по выпуску данного стратегически важного вещества, необходимого для производства современных микросхем.

Сверхчистый бромид водорода применяется в микроэлектронике как технологический газ для плазмохимического (RIE/ICP) травления кремния, поликремния и родственных материалов. Высокая чистота HBr критична для снижения дефектности и предотвращения паразитного загрязнения при формировании субмикронных структур.

Первые 100 килограммов российского бромида водорода высокой чистоты для микроэлектроники планируется поставить на российские предприятия в первом полугодии 2026 года. Томский ИХТЦ - единственный в России производитель этого стратегически важного вещества.

Ключевое преимущество HBr перед другими травильными газами — исключительно высокая селективность травления. Согласно патентной документации, использование HBr обеспечивает селективность травления поликремния к оксиду кремния на уровне 100:1, а к фоторезисту — 60:1. Для сравнения, традиционное травление с использованием хлора (Cl₂) дает селективность лишь 30:1 к оксидам и около 3:1 к фоторезисту.

Проект выполнен по заказу Министерства промышленности и торговли Российской Федерации. Общий объем финансирования составил 260,5 млн рублей. Годовая производительность предприятия: до 650 кг конечного продукта.

Запуск российского производства происходит на фоне активного роста глобального рынка высокочистого HBr. Объем мирового рынка HBr в 2025 году составил $174 млн. Прогноз на 2032 год — $272 млн со среднегодовым темпом роста 6,7%.

Доминирующие позиции занимают международные корпорации: Resonac, Air Liquide, Adeka, Nippon Sanso, Linde. Китайские производители активно наращивают свое присутствие на глобальном рынке. Ключевые производители фокусируются на разработке сверхвысокочистого (5N) HBr для полупроводникового применения. Например, в июле 2025 года китайская Tianjin Greenling Gas запустила завод мощностью 1000 тонн полупроводникового HBr чистоты 99.999%.

Месяцем ранее Томский ИХТЦ сообщал также о запуске производства сверхчистого трибромида бора.

@RUSmicro / MForum.ru