Томский ИХТЦ запустил производство сверхчистого трибромида бора и готовит первые поставки
В феврале 2026 года Инжиниринговый химико-технологический центр (ИХТЦ) на базе Томского госуниверситета объявил о завершении проекта и запуске полного цикла производства трибромида бора высокой чистоты марки 6N5. Первые промышленные поставки запланированы на 2026 год.
Проект выполнен по заказу Минпромторга России и стал первым завершённым в масштабной программе импортозамещения шести критических химических веществ для микроэлектроники (общий бюджет под эти разработки - 1,9 млрд рублей).
🎓 Что такое трибромид бора 6N5?
Трибромид бора (BBr₃) — ключевой реагент для легирования полупроводников в микроэлектронике. Обозначение «6N5» указывает на степень чистоты 99,99995%, что соответствует содержанию примесей не более 5 частей на миллион (0,5 ppm) и является мировым стандартом для передовых технологических процессов.
🎓 Где применяется?
В первую очередь - в производстве полупроводников: плазмохимическое и реактивное ионное травление, осаждение тонких плёнок, легирование кремниевых пластин. Также востребован в оптоэлектронике, фотонике, органическом синтезе и создании специальных материалов.
🔹 Участники проекта
▫️ Томск (ИХТЦ ТГУ) — головной разработчик, организация полного цикла производства;
▫️ Новосибирск (Институт неорганической химии СО РАН) — методики аналитического контроля и стандарты качества;
▫️ Нижний Новгород (ООО «НПИ») — технологические решения и инжиниринг.
🔹 Производственные параметры
Мощность установки: 24 кг в год, что соответствует потребностям опытного и мелкосерийного производства микроэлектронных компонентов. Продукт будет поставляться в формате, интегрированном в технологические линии заказчиков: кварцевые ампулы различного объёма и специальные ёмкости-барботеры, исключающие контакт вещества с атмосферой. Для использования в крупносерийном производстве процесс нужно будет масштабировать, что не является простой задачей.
Руководитель проекта в ИХТЦ Ася Водянкина:
«Нашей задачей было не просто наладить синтез вещества, а построить завершённый технологический цикл, включая систему контроля качества на каждом этапе. Это необходимо для обеспечения стабильных характеристик материала, что критически важно для микроэлектроники».
Директор ИХТЦ Алексей Князев:
«Мы ориентировались на потребности отечественных предприятий. Их ключевым требованием было не просто импортозамещение, а получение материала гарантированного качества по конкурентной цене. Этот критерий стал для нас основным, и в ходе реализации проекта он был достигнут».
📌 Значимость проекта в плане импортзамещения
Основные поставки трибромида бора в Россию на фоне отсутствия собственного производства осуществлялись из Китая, Германии и США, а также от American Elements, Albemarle, Solvay и Mitsubishi.
Проект решает задачи обеспечения технологической независимости и укрепления российских компетенций в области высокочистого химического синтеза.
🔹 Перспективы и планы
ИХТЦ уже формирует портфель заказов от промышленных потребителей. Вероятно понадобится:
- масштабировать технологические процессы при сохранении чистоты 6N5;
- сертифицировать продукцию на соответствие отраслевым стандартам, впрочем, российская специфика (от которой хотелось бы когда-нибудь уйти) - проверять все самостоятельно на производстве.
@RUSmicro