В интерферометрическом гравитационно-волновом детекторе третьего поколения LIGO Voyager пробные массы будут изготовлены из кремния, рабочая температура пробных масс – 120 К. Для тонкой подстройки положения пробных масс предполагается использовать электростатические актюаторы. Взаимодействия кремниевой пробной массы с электростатическим полем электрода является источником теплового шума, который может существенно ограничить чувствительность детектора в диапазоне 10-100 Гц.

Если приглядеться к рисунку, то можно увидеть, что кремниевая пластина состоит из 4 связанных маятников с пружинками-спиралями и грузиками – сегментами на периферии. За счет попарно-противофазного движения маятников в антисимметричной моде (f=63 Гц) обеспечивается минимизация потерь в закреплении (на схематических изображениях мод отклонение в направлении, перпендикулярном плоскости чертежа, показано в красно-синем контрасте). Полученная в ходе предварительных измерений добротность при температуре около 100 К превосходит 10 миллионов!