🦉 Школа молодых учёных
Краюшкин Виктор Павлович,
Центр коллективного пользования уникальным научным оборудованием в области нанотехнологий (ЦКП) МФТИ:
Для вакуумной герметизации MEMS важно не только создать низкое давление в момент сращивания, но и сохранить его внутри микрополости в течение всего срока службы. Вакуум снижает газовое демпфирование и теплопередачу, поэтому напрямую влияет на чувствительность и стабильность работы многих MEMS-устройств. Эту задачу помогает решать NEG-геттер: после активации Ti–Zr–V связывает остаточные и выделяющиеся газы, поддерживая необходимый уровень вакуума внутри герметичного объёма.
#ФорумМикроэлектроника
#ШМУ #ШколаМолодыхУчёных #МФТИ