Разработчик российского литографа создаст суверенный электронный микроскоп на замену Hitachi

▶️ Зеленоградский нанотехнологический центр (тот самый, который сделал литограф на 350 нм) получил госконтракт на создание отечественного сканирующего электронного микроскопа за 2,37 млрд рублей. Он должен заменить японские Hitachi S‑9380 и CG‑4000, поставки которых в Россию были заблокированы санкциями.

Что именно собираются сделать?

ЗНТЦ должен разработать измерительный сканирующий электронный микроскоп (CD-SEM), который будет использоваться для контроля полупроводниковых пластин диаметром 100, 150 и 200 мм. Он будет измерять:

⏺️ ширину линий
⏺️ диаметры контактных отверстий
⏺️ расстояния между элементами
⏺️ шероховатость краёв

Литограф на 90 нм, видимо, тоже придется делать ЗНТЦ, хотя его гендиректор Анатолий Ковалев еще недавно не готов был сообщить о том, будет ли компания участвовать в конкурсе на разработку нового оборудования. Но, судя по количеству желающих получить этот тендер, вариантов не то чтобы много.

™️ МашТех в Telegram | в MAX