ИИ для контроля производства чипов обойдется в 1,3 млрд рублей.

▶️ Минпромторг выделил 1,38 млрд рублей на разработку автоматизированной установки контроля ионного легирования. Установка, использующая с ИИ, должна заменить американское оборудование KLA-Tencor, поскольку прямых отечественных аналогов ему не существует.

ИИ применяется здесь для решения двух ключевых задач:

⏺️ автоматическое распознавание: с помощью видеопроцессора и камеры ИИ находит метки или рисунок топологии на пластине, чтобы точно выровнять и позиционировать её для измерений.
⏺️ калибровка и расчёт: ПО на базе ИИ строит калибровочные кривые и на их основе автоматически определяет уровень имплантационной дозы.

Согласно документации на портале госзакупок, установка должна работать с пластинами диаметром 100, 150 и 200 мм. При этом опытный образец планируется изготовить для пластин 200 мм. Все работы по ОКР должны быть полностью завершены до октября 2029 года.

™️ МашТех в Telegram | в MAX