В России разрабатывают лазеры для замены в иностранных литографах.

💻 Минпромторг предлагает 175 млн рублей за разработку и освоение производства гелий-неоновых лазеров и фотоприемников для систем позиционирования оборудования, применяемого в производстве интегральных схем с топологическими нормами до 65 нм. Соответствующий тендер появился на сайте госзакупок.

Разработка необходима для замены лазеров и фотоприемников производства фирмы Keysight в зарубежном оборудовании Nikon и ASML, а также в действующем и разрабатываемом отечественном оборудовании, применяемом в производстве ИС с проектными нормами до 65 нм.

⚙️ Лазеры нужны для того, чтобы с высокой точностью позиционировать положение активных частей установки относительно полупроводниковой пластины. Как и всегда в подобных госзакупках, комплектующие и материалы изделия должны быть отечественного производства и обеспечивать отсутствие критической зависимости от иностранных производителей.