Post #264246 5 Oct 14, 2026, 08:40 UTC IT之家 尼康推出面向先进封装的数字曝光设备 DSP-110,分辨率 1.5μm、明年上市 Telegraph | 原文 Telegraph 尼康推出面向先进封装的数字曝光设备 DSP-110,分辨率 1.5μm、明年上市 - IT之家 IT之家 10 月 14 日消息,尼康公司昨日发布面向先进封装的数字曝光设备 DSP-110,分辨率为 1.5μm(线宽 / 线距),每小时可处理 72 块面板,计划 2027 年 4 月上市。 据介绍,这款产品是 DSP-100 的升级版本,面向半导体后道工序。该产品针对 1.5μm(L/S)分辨率重新设计光学系统,处理能力相比前代产品提升 40%。在保持与 DSP-100 相同套刻精度(IT之家注:不超过 ±0.3μm)的同时,实现每小时处理 72 块面板的性能升级。 该产品支持多种尺寸的方形基板:…