Новый углеродный материал ASM упрощает производство полупроводников

Нидерландская компания ASM, лидер в производстве оборудования для обработки полупроводниковых пластин, представила XP8 Vertos Flowable Carbon — первую на рынке текучую углеродную пленку для плазменно-усиленного химического осаждения из газовой фазы. Инновация объединяет в одном процессе заполнение зазоров и планаризацию, снижая сложность, повышая контроль и открывая возможности для 3D-масштабирования.

https://hightech.plus/2026/09/24/novii-uglerodnii-material-asm-uproshaet-proizvodstvo-poluprovodnikov