«В производстве микроэлектроники важны высокочистые материалы. Каждая сфера имеет свои особенности: для СВЧ-электроники нужен галлий, для силовой электроники — карбид кремния и т.д. В химических процессах используется очень много разных технических газов, чистота которых определяет качество производимых кристаллов.
Если говорить о станках для производства микроэлектроники, то здесь ключевым является оборудование фотолитографии. Затем уже менее критичные технологические процессы - химическое травление, химическая или механическая полировка. Конечно, все это надо контролировать и для этого нужно соответствующее метрологическое оборудование»,
— объясняют эксперты Fplus.
26 ноября на «Электронике России» замминистра Минпромторга Василий Шпак призвал российских производителей электроники вкладывать 15–20% от общей закупки станков и химии в отечественную продукцию.