Российская электронная литография ускорит производство чипов в 3000 раз

Российский стартап разработал проект многопучковой электронной литографии — установки, которая сможет обрабатывать кремниевую пластину всего за 5–7 минут вместо привычных полутора-двух недель.

В основе — мультикатод, который формирует сразу множество электронных пучков, в отличие от традиционных однопучковых систем. Это позволяет ускорить процесс экспонирования (нанесения рисунка на пластину) и упростить конструкцию. Мультикатод изготовлен и прошел практические испытания.

Первый прототип литографа может появиться через три года. Идея перспективная, но до промышленного внедрения еще далеко.

САЙТ | TG | VK | MAX | YT