🔎Что это?
Безмасковый оптический литограф – установка из арсенала микроэлектронщиков, позволяющий создавать структуры размером <0,5 мкм
Для сравнения, толщина волоса 50-70 мкм.
"Безмасковый" – значит, он нарисует вашу топологию без вспомогательных средств, только образец-пластина и литограф.
"Оптический" – рисует с помощью света, локально изменяя свойства светочувствительного материала, тонким слоем покрывающего образец.
🤔Почему так дорого?
Всегда чем выше точность, тем дороже.
Здесь точность перемещения 0,1 мкм, и хуже нельзя.
Пример: вы хотите нарисовать линию шириной 2 мкм, она должна иметь постоянную ширину с допуском 5%. Путем простых калькуляций получаем те самые 0,1 мкм.
Теперь добавьте сюда точную механику, оптическую систему, управляющую электронику, софт и заставьте всё это работать!
🔥 Зачем это?
В нашей лабе литография используется в каждом проекте, начиная от квантовых вычислений до органов-на-чипе.
Конкретно 1 мкм техпроцесс – идеальное решение для микрофлюидных чипов и МЭМС. Для ФИС нужно что-то посерьёзнее.
В мире сейчас две-три компании, которые делают топовые машины и тем самым задают тренд в сфере оптической литографии (Heidelberg, Reith, Brucker). В России ровно ноль коммерчески доступных литографов такого класса.
Поэтому можете представить себе моё удивление, когда я узнал, что один конкретный человек на протяжении уже пяти лет разрабатывает с нуля DLP литограф, вдохновившись видео на Ютубе. В соло.
⚙️Текущие характеристики литографа следующие:
✅Разрешение: 0,4 мкм
✅Точность позиционирования: 0,1 мкм
✅Дискретность шага: 40 нм
✅Производительность: до 156 мм²/мин
✅Диаметр пластин: до 150 мм
✅Источник излучения: 405 нм
✅Разрешение проекционного изображения: до 1920х1080
На втором фото – принципиальное ядро литографа, собраное в домашней обстановке, а на последнем – мой хороший товарищ, Илья Сидоров со своим детищем на сочинском Конгрессе молодых учёных.
В чате можно пообщаться с Ильёй и увидеть больше архивных фото, если он пожелает)
Илья, моё уважение и успешного вывода на рынок 🤝
👍 инженеры невероятно крутые
❤️🔥 +1 идея по быстрой выплате ипотеки