Издательство «ТЕХНОСФЕРА» представляет новую серию книг «МИР микроэлектроники»

Проект призван стать системным навигатором по современным технологиям интегральных схем и полупроводниковых приборов – от основ технологических процессов и работы высокоточного оборудования до проектирования и изготовления фотошаблонов.

Авторами серии выступят ведущие специалисты российской микроэлектроники. В рамках проекта будет раскрыта эволюция технологий ИС от микро- к наноэлектронике с самыми современными проектными нормами, рассмотрены ключевые этапы производства СБИС, включая литографию, методы моделирования технологических процессов и проектирования с использованием САПР.

Первой книгой серии станет труд д.т.н., профессора Н.А. Шелепина «Технологии КМОП интегральных схем. Часть 1. От возникновения до нанометровых размеров элементов». В издании описаны технологические маршруты производства КМОП ИС – от периода становления до глубокосубмикронных и нанометровых транзисторов, с акцентом на конструктивно-технологические методы, обеспечившие масштабирование элементов.

https://www.technosphera.ru/news/12603

🤩 в МАХ 💬| ВК 💙