В России создана установка электронно-лучевой литографии для изготовления фотошаблонов и формирования рисунка на подложках без использования маски. Оборудование с проектными нормами 150 нм разработал Зеленоградский нанотехнологический центр, сейчас опытные образцы проходят испытания.

https://www.cnews.ru/news/top/2026-07-20_v_rossii_sozdana_ustanovka

🤩 в МАХ 💬| ВК 💙